グロー放電質量分析法(GD-MS)

GD-MS:Glow Discharge Mass Spectrometry

グロー放電質量分析(GD-MS)とは

グロー放電質量分析法(GD-MS:Glow Discharge Mass Spectrometry)は、試料を陰極として、アルゴン(Ar)ガス中でグロー放電・スパッタし発生したイオンを高分解能質量分析計(MS)で検出する分析手法です。
固体試料を直接高感度分析でき、試料の溶解作業等を必要とせず、材料を構成するLi ~ U までの全ての元素において、マトリックスからppbオーダーまでの同時多元素定量分析が可能です。(相対感度係数を用いた半定量分析)

グロー放電質量分析装置(GD-MS)

グロー放電質量分析装置(AMETEK社製 Astrum ES)

グロー放電質量分析法(GD-MS)の特徴

*DR:ダイナミックレンジ

グロー放電質量分析法(GD-MS)の適用分野(用途)

金属材料の成分分析    :ステンレス・高合金・非鉄合金 etc.
高純度金属中の不純物分析:スパッタリングターゲット材
セラミックス/半導体材料:Al2O3, SiC, GaAs etc. 
二次電池正極活物質    :Li(NiCoMn)O2  ・・・NCM

グロー放電質量分析法(GD-MS)の原理

Ar 雰囲気下においた試料を陰極(Cathode)としてグロー放電を発生させると、プラズマ内で試料表面がスパッタされます。イオン化されたスパッタ原子は二重収束型質量分析計(MS)で測定され、得られた質量数(カウント)と相対感度係数より半定量値を算出します。

装置仕様

機種 Nu Instruments(AMETEK)astrum ES
測定元 Li ~ U
検出器 二重収束型質量分析計
定量法 相対感度係数法
定量範囲 0.1ppb ~ 100%
質量分解能 m/Δm >4000

試料形状/試料サイズ

様々な試料形状・材質の分析が可能です。

試料形状/試料サイズ

グロー放電質量分析法(GD-MS)の事例

事例1;Al合金の77元素同時分析事例( 質量分解能:M / ΔM 4000 )

Al合金の77元素同時分析事例
マトリックス中の元素と放電ガス由来の分子イオンを分離して測定する事が可能

優れた質量分解能を有する二重収束型質量分析計によって、目的元素と複合分子イオンの分離を行いながら LiからUまでの最大77元素を同時に分析可能です。( 同位体分析:可 )

事例2;SiCの表面からマトリクスへの深さ方向元素濃度分析


表面の汚染状態と母材中の不純物濃度の評価が可能

スパッタリング現象を利用した分析手法であることから、母材中における不純物濃度を調査できるだけでなく表層からの濃度プロファイルを得る事も可能です。

参考技術資料

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