微小部X線回折法による物質の同定

1.概要

X線回折測定は物質の同定を行うにあたり、非常に優れた方法ですが、一般的なX線回折測定は数cmオーダーの試料が対象となります。
当社では通常のX線回折装置よりも微小な数mm～サブmmオーダーの試料を測定できるX線回折装置を所有しており、応用分野は微量試料、精密部品、微小な異物や付着物の分析など多岐にわたります。

X線回折法(XRD)の技術紹介はこちらから

2.装置仕様

3.試料情報

4.測定事例:電子基板の分析

微小部XRDにより、電子基板中の精密部品1個を狙った分析を行いました。
周辺の材質の影響を受けることなく、1mm程度の部品の材質の同定ができました。

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