単結晶ロッキングカーブ測定、OFF角、d値解析

1.概要

単結晶材料の結晶性評価をご紹介します

X線回折法(XRD)の技術紹介はこちらから

2.使用装置

Ge(022)4結晶モノクロメーター(Δλ:0.01%)+4軸(2θ, Ω, φ, χ)+3軸リニアステージ装備回折計

※ロッキングカーブ半値幅、OFF角、d値の精密測定　
　試料内分布測定も可測定精度:1/1000°(Ωスキャン, 2θ/Ωスキャン)

3.試料情報

1.測定可能試料寸法:170 mmφ x 5 mmt以下
2.測定可能結晶方位(実績):
・Si :(100), (111), (311)
・サファイア(α-Al₂O₃):(0001)
・β-Ga₂O₃:(100), (11-3), (010), (001)　他多数

4.測定事例;Si

*Aの位置は説明のためにシフトしてあり、実際の位置と異なります。

5.PDFダウンロード