反射X線トポグラフおよびTEMによる酸化ガリウムの結晶欠陥評価事例

FTM-1618

反射X線トポグラフ像と選択エッチング後のエッチピット像

図1の反射X線トポグラフで見えている[102]、[100]方向に伸びた黒いコントラストの位置には、図2で見られる様なエッチピット列が見られます。

図2のエッチピット位置から断面サンプルを作成しTEM観察した結果。
図3の様な転位が確認できました。g=-202で転位コントラストが消滅することから、この転位のバーガースベクトルは[010]方向です。転位の方向とバーガースベクトルの方向が並行なので、この転位はらせん転位です。

図2で見られるエッチピットの他に、図5に示す様なサイズが大きくて低密度のエッチピットが存在します。
断面TEM観察の結果、このエッチピット下には幅が0.1um程度の中空パイプ(ナノパイプ)が確認できました。

出展:Jpn. J. Appl. Phys. 54, 051103 (2015)