FIB-SEM複合装置を用いたガルバリウム鋼板の三次元組織解析

1.概要

FIB-SEM複合装置を用いたシリアルセクショニング法(自動FIB等間隔スライス加工とSEM像自動保存機能)を用いた連続断面SEM画像取得法)により、微小領域の三次元組織観察が可能です。
この手法を用いたガルバリウム鋼板(Zn-Alメッキ鋼板)の三次元組織観察事例をご紹介します。

集束ビーム加工(FIB)の技術紹介はこちらから

2.装置仕様

FIB-SEM複合装置 NB5000(日立ハイテクノロジーズ社製)

項目	加速電圧	分解能	備考
FIB 仕様	1～40kV	5nm@40kV	最大ビーム電流: 70nA
SEM 仕様	0.5～30kV	1nm@15kV	電子源: ショットキー型
最大 試料 サイズ	φ30mmxt20mm
主要 オプション	・μサンプリング ・クライオホルダー ・EDS元素分析 ・STEM(透過像)観察

3.事例 ;ガルバリウム鋼板(Zn-Alめっき鋼板)の三次元組織解析

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