背面反射ラウエ法による単結晶の方位解析
FTM-1801
1.特徴
- 背面反射ラウエ法により、単結晶材料の結晶方位解析を行います。
- 一回のラウエパターンの撮影で、主面方位やoff角off方向など、結晶方位に関する情報を一度に解析できます。
2.使用装置
ラウエカメラ
| 検出器 | イメージングプレート(IP) |
|---|---|
| X線管球 | W |
| 評価対象 | 半導体ウェハ、各種化合物単結晶、Ni基超合金など |
| 測定可能試料サイズ | 数cm角の小型結晶～数10cm大のインゴットまで可能 |
3.評価事例;SiC,酸化物単結晶,ダイヤモンド
