電子線マイクロアナライザー(EPMA)による浸炭材の炭素の深さ方向分析

1.概要

試料表面に電子線を照射すると、試料表面を構成する元素固有の特性X線が発生します。EPMAでは、試料から得られる特性X線を波長分光し、元素の種類の同定と強度から定量を行います。
電子線を走査する事により、元素分布を得ることが可能です。

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2.装置仕様

3.試料情報

歯車:浸炭処理された鉄鋼材料(母材C濃度:0.2mass%)

4.浸炭処理を施した歯車の炭素の深さ方向分析例

研磨して断面を露出させた後、歯底の表層から内部にかけて線分析を行いました。
表層から内部にかけてのC濃度の変化を捉えています。

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