X線トポグラフ(XRT)

Ｘ線トポグラフとは、結晶内の欠陥（表面欠陥、積層欠陥、スワール欠陥、スリップ転位等）や歪みなどの分布や形などを、2次元マッピング情報（画像）として撮影・観察する方法です。

X線トポグラフ撮影の原理

Ｘ線源から出たビームをスリットでシート状に絞り、試料表面にブラッグの回折角で入射させます。ブラッグ回折条件に対応した回折ビームだけを拾い出し、検出器に照射・露光させます。この状態でサンプルを全領域スキャンさせると、サンプル全体の回折像が検出系に投射されることになります。

Ｘ線回折画像（トポグラフ画像）の濃さはＸ線回折強度の増加とともに増します。サンプル母材領域（単結晶）のトポグラフ画像は、動力学的回折による回折Ｘ線強度に対応した濃さとなります。

局所的な欠陥部位では、運動力学的回折により回折Ｘ線強度が母材領域に比べて増加することになり、欠陥部位はコントラスト差（色の濃淡）としてトポグラフ画像上で撮影・識別されることになります。

機器の主仕様・方式

撮影対象

サンプル状態（厚さ、結晶性、その他）により、適正な機器、撮影モードを選択して撮影します。

撮影に必要な結晶情報