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FIBによるTEMサンプルの製作事例

概要

FIB法とはGaイオン源からの収束イオンビームを利用して、TEM(透過型電子顕微鏡）観察サンプルを製作する方法です。

加工の手順

  1. 走査型のイオン顕微鏡として試料表面形状を観察する。(最高分解能：5nm for Au Particle)。
  2. 薄膜原料ガスを試料表面に吹き付けながらイオンビームを照射することで、指定の箇所のみに薄膜を形成するデポジション加工を行う(FIB加工時の保護膜として）。
  3. 試料表面にイオンビームを照射し、局所的なスパッタエッチング加工を行う。

特徴

特定の場所の薄片加工が短時間で行えることが最大の特徴で、LSI分野を中心に急速に広まった技術です。

加工事例

  • FIB加工後サンプル(Top View)

    FIB加工後サンプル(Top View)

  • FIB加工後サンプル(Tilt View)

    FIB加工後サンプル(Tilt View)

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