FE-EPMAによるマッピング分析例(2)

Ni基合金の粒界Cr欠乏層のマッピング分析

不適切な熱処理により、結晶粒界でクロム炭化物が生成し、結晶粒界クロム欠乏層が発生する場合があります。耐食性を示すクロムの低減により、材料の耐食性が低下します。クロム欠乏層は非常に薄く、従来のEPMAでは、その分解能の限界のため検出が困難でありました。FE-EPMAは高分解能・高感度であるため、薄いクロム欠乏層（図中 0.4μm ）が明瞭に観察されました。

FE-EPMAの特徴であります高分解能・高感度を活用することは、不具合解析の調査に有効です。

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  結晶粒界クロム欠乏層のマッピング分析結果（分析元素：Cr）