誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）
概要
原理
ICP-MSは下図に示しますように、試料溶液を噴霧器で霧状にし、これをArプラズマの中でイオンにします。
生成したイオンを質量分析計で分析することで試料溶液中の濃度が分かります。従って試料は溶液または固体試料を酸等に溶かしたものを用います。
質量分析計には、磁場と電場を用いて質量を分離する二重収束型（高分解能ICP-MS: HR-ICP-MS）および、四重極質量分析部を用いた四重極型ICP-MS（ICP-QMS）、MS/MS機能を備えたトリプル四重極型ICP-MS（ICP-QQQ）があります。
高分解能ICP-MS（HR-ICP-MS）
トリプル四重極ICP-MS（ICP-QQQ）
適用分野
- 超純水の分析
- 高純度試薬の分析
- 天然・合成石英中の不純物分析
- シリコンウェーハの表面分析
- 各種溶出試験液の分析
- クリーンルーム等の雰囲気分析
- 各種微量試料の不純物分析
- 同位体比分析
特徴
HR-ICP-MS
・高分解能のため，Fe（ArO），Ca（Ar），K（ArH），P（NOH）等を分離し、高感度に分析可
ICP-QQQ（参考資料：HRM-1626
）各種材料中のCa、K、P、Sの分析が、従来型ICP-MSと比較して、1桁以上感度向上
ICP-QMS
・コリジョンリアクション法等による妨害イオン干渉を除去した測定により、高マトリックス試料中の高感度分析が可能
| HR-ICP-MS | ICP-QQQ | ICP-QMS | |
|---|---|---|---|
| 検出感度 （元素により異なる） |
★★★ 0.01ppt～ |
★★ 0.1ppt～ |
★ 1ppt～ |
| 定性分析 | 可 | 可 | 可 |
| 妨害イオン干渉除去性能 | ★★ 低温プラズマ法 高分解能設定 |
★★★ 低温プラズマ法 コリジョンリアクション法 リアクションマスシフト法 |
★ 低温プラズマ法 コリジョンリアクション法 |
| 耐マトリックス性能 | ★ | ★★ | ★★★ |
| 用途 | 超高感度分析用 | 複雑なマトリックスサンプルの 超高感度分析用 |
高マトリックスサンプルの 高感度分析用 |
| 対応元素 | 通常元素＋Si、P、Se | 通常元素＋Si、P、S、Se | 通常元素 |
測定事例
