日鉄テクノロジーの材料評価・受託試験サービスは、お客様の｢ものづくり｣の未来を切り開きます。
クリーンルームの雰囲気分析には下図に示すインピンジャーと呼ばれるガス吸収瓶を用い、雰囲気中の不純物を吸収し、吸収した成分をICP-MS等で分析します。
吸収液は不純物の成分によって選択します。
クリーンルーム雰囲気の超微量不純物分析から炉内のガス組成分析まで広い濃度範囲と各種成分の分析。
材料評価・分析、環境、計測エンジニアリング、検査・ソリューション、自動車部品、エレクトロニクス部品、エネルギー産業機械
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