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高純度金属、セラミックスの超微量不純物分析

概要

特徴

高純度金属やセラミックス中の不純物分析は、試料の材質や形状などで分析法が異なります。

固体試料を直接分析するGD-MSは、検出感度が高く（10pg/g,ppt）、ダイナミックレンジが11桁と非常に広くなっています。また深さ方向の分析が可能などの特徴があります。

しかし電気伝導性の低い材料では検出感度が低くなることや試料形状で測定しにくい場合は、試料を酸等に溶かし、その溶液を調製し、ICP-MSやFLAASで分析する方法もあります。

適用分野

  • 高純度金属：Al, Ti, Mo, Co, W, Cu, Auなど
  • 半導体材料：Si, SiC, GaAs, GaP, InPなど
  • 合金：鉄鋼材料、非鉄系材料（Al, Ti, Cuなど）
  • セラミックス：ガラス、Y2O3, Al2O3, AlNなど
  • 各種成膜層：CVD膜、焼結体、薄膜（深さ方向分析）

主要装置

  • GD-MS（参考資料：テクニカルレポート AMM-2004pdf）

    ・固体試料の直接分析が可能

    ・検出感度が高い（pptレベル）

    ・ダイナミックレンジが広い（11桁）

    ・標準試料無しで半定量分析が可能

    ・μmオーダでの深さ方向分析が可能（分解能：0.1μm）

    ・多元素同時分析が可能

    ・同位対比測定が可能

  • ICP-MS（参考資料：テクニカルレポート HRM-1626pdf）

    ・試料を一旦溶液にする必要がある。

    ・酸不溶性試料については、加圧酸分解法等で溶液化する

    ・検出感度が高い

    ・他元素同時分析が可能

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