結晶シリコン太陽電池の断面SEM観察／EDX分析

SEMでは断面試料の層構造を明瞭に観察することが可能で、EDX分析では特定部位の元素分析が可能です。本分析により、Al焼成層と結晶シリコンとの界面に、Si-Al反応層の形成が認められました。