最大試料サイズ
300mm
撮影モード
透過、反射(断面)
X線源(ターゲット)
Mo(透過)、Cu(反射)
検出系
CCDカメラ(高速カメラ、高分解能カメラ)
試料載置
水平
解像度(画素ピッチ)
高速カメラ:22.5, 45, 67.5, 90, 112.5μm
高分解能カメラ:2.7, 5.4μm
[Bede]透過モード
[Bede]反射モード
最大試料サイズ
300mm
撮影モード
透過、断面
X線源(ターゲット)
Mo
検出系
イメージングプレート(IP)
試料載置
垂直
解像度(画素ピッチ)
100μm or 50μm
[Rigaku]透過モード