X線トポグラフ(XRT)~設備仕様~

解析装置の主仕様・方式

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メーカー:Bede Scientific Instruments

  • 最大試料サイズ

    300mm

  • 撮影モード

    透過、反射(断面)

  • X線源(ターゲット)

    Mo(透過)、Cu(反射)

  • 検出系

    CCDカメラ(高速カメラ、高分解能カメラ)

  • 試料載置

    水平

  • 解像度(画素ピッチ)

    高速カメラ:22.5, 45, 67.5, 90, 112.5μm

    高分解能カメラ:2.7, 5.4μm

[Bede]透過モード

[Bede]透過モード

[Bede]反射モード

[Bede]反射モード

メーカー:リガク

  • 最大試料サイズ

    300mm

  • 撮影モード

    透過、断面

  • X線源(ターゲット)

    Mo

  • 検出系

    イメージングプレート(IP)

  • 試料載置

    垂直

  • 解像度(画素ピッチ)

    100μm or 50μm

[Rigaku]透過モード

[Rigaku]透過モード

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