走査型プローブ顕微鏡（SPM）

走査型プローブ顕微鏡（scanning　probe microscopy : SPM）は試料表面のナノメートルサイズからマイクロメートルサイズまでの表面凹凸形状や機械物性、電気・磁気物性が測定できる装置です。

当社では、ご要望が多い比較的大きな試料にも対応したSPM装置を導入しました。

概要

SPMは『対象の表面上を探針が機械的に走査しながら、検出器の随伴的応答を測定することによって、表面を画像化する手法』です。

原子間力顕微鏡（atomic force microscope: AFM）としての表面凹凸像はもとより、探針に働く各種の物性（粘性、摩擦、吸着）分布の画像化や、導電性の探針を用いて各種の電気的作用（電流、抵抗、電位）分布の画像化、また磁性探針を用い磁区分布の画像化も可能です。

走査型プローブ顕微鏡（SPM）の外観

固体表面（金属、無機物、有機物）

装置構成

測定モード

形状測定：	コンタクトモード(AFM)、ダイナミックモード(DFM)
表面物性：	位相(PM)、摩擦力(FFM)、 SIS-ACCESSイメージ（硬さ像・吸着像・変形像・散逸像）
電気物性：	電流(CPAFM)、圧電応答(PFM)、広がり抵抗(SSRM)、表面電位(KPFM)、静電気力(EFM)
磁気物性：	磁気力(MFM)

DLC膜のDFM像

測定例：DLC膜のDFM像

走査領域：1μｍ□

Z range：89nm