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装置の測定原理はＳＥＭ／ＥＤＸと同じであるが、通常ＥＰＭＡと呼ばれる装置は、ＳＥＭが試料表面の形状を観察し、構成成分は定性的に分析する装置であるのに対し、主に組成分析を正確に行うことを目的とされた装置である。そのためＸ線分析には波長分散型の検出装置（WDX：下図の右側)が用いられる。
分析方式
Ｘ線の波長により数種類の分光結晶を用いて分析する。
分析対象元素
Ｂ～Ｕ
エネルギー分解能
～10ｅＶ
分析限界濃度
Ｂ～Ｆ： 0.5～1wt%
Ｎａ～Ｕ： 0.05wt%
定量分析精度
0.1～0.2% 但し標準試料が必要
