物理分析

各種材料の表面のミクロな形態観察や元素分析、材料の表面から深さ方向の元素分布を把握することができ、また、物質の結晶構造や化学結合状態も知ることができます。分析対象は、金属、高分子、セラミック材料、半導体デバイスなどさまざまな材料の分析が可能です。

表面・微小部分析、深さ方向分析

  • 表面数原子層~μmオーダー深さの元素、状態分析
  • nm~μmオーダーの局所元素分析、状態分析
  • nm~μmオーダーの固体表面元素の深さ方向分析
  • 装置別適用範囲表

    装置別適用範囲表

分析装置

分析事例

X線光電子分光分析装置(XPS)

X線光電子分光分析装置(XPS)

電界放出形オージェ電子分光分析装置(AES)

電界放出形オージェ電子分光分析装置(AES)

飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF-SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF-SIMS)

電子線マイクロアナライザー(EPMA)

電子線マイクロアナライザー(EPMA)

形態観察

分析装置

原子オーダー~μmオーダーの形態観察

分析事例

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

走査プローブ顕微鏡(SPM)・原子間力顕微鏡(AFM)

走査プローブ顕微鏡(SPM)・原子間力顕微鏡(AFM)

透過電子顕微鏡(TEM)

透過電子顕微鏡(TEM)

集束イオンビーム加工観察装置

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)

表面・界面物性解析装置(SAICAS)

表面・界面物性解析装置(SAICAS)
ホーム掲載

構造解析

  • サブμm~mmオーダーの結晶構造解析

分析装置

分析事例

後方散乱電子線回折解析装置(EBSP)

後方散乱電子線回折解析装置(EBSP)

X線回折装置(XRD)

X線回折装置(XRD)

X線残留応力測定装置

X線残留応力測定装置
ホーム掲載

ラマン分光分析装置

X線トポグラフィ解析装置(XRT)

ラマン分光分析装置

ラマン分光分析装置

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