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各種材料の表面のミクロな形態観察や元素分析、材料の表面から深さ方向の元素分布を把握することができ、また、物質の結晶構造や化学結合状態も知ることができます。分析対象は、金属、高分子、セラミック材料、半導体デバイスなどさまざまな材料の分析が可能です。
装置別適用範囲表
極表面状態分析
深さ方向状態分析
極表面状態分析
深さ方向状態分析
極表面微小部元素分析
深さ方向微少部元素分析
飛行時間型二次イオン質量分析計（TOF-SIMS） ホーム掲載
極表面微量元素分析
極表面近傍微量元素分析
微小部構造解析
表面元素分析（高空間分解能）
極表面元素分析
深さ方向元素分析
原子オーダー～μｍオーダーの形態観察
マイクロフォーカスX線CT ホーム掲載
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
30～20万倍
1万～80万倍
～100万倍
～1億倍
500～2万倍
500～2万倍
表面結晶方位
バルク結晶構造解析
材料表面の残留応力測定
X線トポグラフ（XRT） ホーム掲載
結晶内の欠陥・歪みの解析・評価
分析透過電子顕微鏡（A-TEM）
微小部結晶構造解析
ラマン分光分析装置 NEW
X線吸収微細構造解析（XAFS） NEW
