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ブローホールガス分析装置　～ブローホール、膨れ内部の局所ガス分析～

本分析の特徴・目的

鉄鋼をはじめとする各種材料中のブローホールやフクレ内部のガスを、真空中でドリルにより機械的に切削し、発生するガス成分を質量分析計で分析します。

本装置によれば、鉄、非鉄金属、ガラスなどの中に存在するブローホール（フクレ）内のガスを比較的容易に高感度で分析することができるほか、パッケージ内部のガス分析も可能です。

装置の仕様

自社製の気泡ガス分析装置

  • 質量分析計

    アネルバ社製AGS7000型

  • 装置内圧力

    約10-6Pa

  • 切削ドリル径

    1～3mm

  • 測定条件

    ・質量数（M/Z)：2～100

    ・検出上限ガス量：約10-2ml

    ・検出下限ガス量：約10-7ml

  • 試料形状

    約40×20×10t mm以内

ブローホール、フクレ内部のガス分析

自社製の気泡ガス分析装置

測定例

空気（約4×10-4ml）を充填した試料を切断した際の検出ガス成分

  • ガス放出直前

    ガス放出直前

  • ガス放出時

    ガス放出時

具体調査の実例

  • 鋼材中ブローホールのガス分析
  • 鋳鉄中ブローホールのガス分析
  • 溶接部のブローホールのガス分析
  • アルミダイキャスト中のブローホールのガス分析
  • 銅合金材のボイド（ピンホール）のガス分析
  • めっき鋼板のフクレのガス分析
  • ガラス材の気泡の分析
  • セラミックス材中の気泡の分析
  • 半導体パッケージ内のガス分析
  • ガラス材（管球内部）のガス分析

など

参考文献

MATERIAL STAGE　Vol.8 No12(2009)p100～102

技術資料

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