三次元表面性状測定（非接触）

特徴

三次元表面性状計測装置（非接触式）は、高精度レーザ変位計とXY軸ステージ（160×160mm）を用いており、大面積（□0.2mm～□160mm）の微細表面性状（形状，粗さ）を、非接触で高速に計測できます。

高精度レーザ変位計は、最新の高性能機器を使用しており、自社製の計測ソフト及び解析ソフトを用いて計測及び解析を行います。

レーザ変位計は、表面の微細凹凸を追尾するオートフォーカス式で、レーザスポット径　1.5μm、分解能　0.025μm、応答速度10kHzと、現時点では最高水準の機種です。

高精度XY軸ステージの可動範囲は、160×160mm（試料台は400×400mm）で、レーザ顕微鏡では不可能な大面積の計測が一回で可能です。

高精度レーザ変位計

装置仕様

• 形式

  オートフォーカス式

  （レンズが焦点位置を自動追尾）

• レーザスポット径

  1.5μm

• 分解能

  0.025μm

  (計測レンジ max 1.5mm)

• 応答速度

  10kHz

【X-Y軸ステージ】

• 可動範囲

  160mm×160mm

  最小移動量

  1μm

三次元表面性状計測装置の外観と計測状況

三次元表面性状（形状、粗さ）計測結果例

機械加工面 (計測範囲　5.11×5.11mm)の計測例を示します。

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  三次元表面形状の鳥瞰図

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  等高線図（形状）

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  断面曲線

• 表面性状パラメータ（二次元粗さ、基準長さ0.8mm）

  算術平均粗さ　Ra=0.18μm

  最大高さ粗さ　Rz=2.15μm

応用例

計測箇所と範囲をご指定いただければ、予備計測を行い最適条件で三次元表面性状を計測します。

ご要望に応じ、計測データから種々の解析（表面性状パラメータ解析、負荷曲線解析、など）を行います。