物質に短波長のX線を照射すると物質の構成元素に特有の波長を持ったX線(蛍光X線)を放出します。
このX線の波長や強度を測定することで、物質を構成している元素の種類や濃度を知ることが出来ます。これを蛍光X線分析と言います。
本装置は照射するX線を特殊なモノキャピラリーチューブで細く絞っているため、試料表面および内部の元素の分布を詳細に見ることが出来ます。また試料内部を透過するX線を検出することにより、試料の内部構造を詳細に見ることが可能です。
配線コネクターの分析例を示します。
コネクターの分析位置
透過X線による内部構造
樹脂内部のCu端子および被服内のCu線を検出
配線被服樹脂中のClを検出
黒色配線被服樹脂中のBrを検出
合成像:赤Cu Kα 緑:Ni Kα 青:Br Kα