蛍光X線分析装置（XRF）
概要
原理
物質に短波長のＸ線を照射すると物質の構成元素に特有の波長を持ったＸ線（蛍光Ｘ線）を放出します。
このＸ線の波長や強度を測定することで、物質を構成している元素の種類や濃度を知ることが出来ます。これを蛍光Ｘ線分析と言います。
本装置は照射するＸ線を特殊なモノキャピラリーチューブで細く絞っているため、試料表面および内部の元素の分布を詳細に見ることが出来ます。また試料内部を透過するＸ線を検出することにより、試料の内部構造を詳細に見ることが可能です。
適用範囲
- あらゆる固体物質、液体
特徴
- 10μmの微小領域の蛍光X線分析が可能
- 透過X線観察により電子部品等の内部観察や構造解析が可能
- 試料の前処理が不要
- 非破壊で大気下で分析が可能
- 試料ステージを走査することで広範囲（100mmｘ100mm）の分析が可能
- 膜厚測定が可能
分析例
配線コネクターの分析例を示します。
コネクターの分析位置
透過Ｘ線による内部構造
樹脂内部のCu端子および被服内のCu線を検出
配線被服樹脂中のClを検出
黒色配線被服樹脂中のBrを検出
合成像：赤Cu Kα 緑：Ni Kα 青：Br Kα
