蛍光X線分析装置（XRF）

原理

物質に短波長のＸ線を照射すると物質の構成元素に特有の波長を持ったＸ線（蛍光Ｘ線）を放出します。

このＸ線の波長や強度を測定することで、物質を構成している元素の種類や濃度を知ることが出来ます。これを蛍光Ｘ線分析と言います。

本装置は照射するＸ線を特殊なモノキャピラリーチューブで細く絞っているため、試料表面および内部の元素の分布を詳細に見ることが出来ます。また試料内部を透過するＸ線を検出することにより、試料の内部構造を詳細に見ることが可能です。