各種めっき被膜、薄膜組成の分析

概要

シリコンウエハー、石英、ポリカーボネイト基盤上に形成されたＰＶＤ薄膜の金属成分を酸またはアルカリで溶解し、それぞれの元素について定量する。

分析

1. 膜形成元素及び比率、膜厚、測定面積、要求精度の目標を参考に、溶解酸及び方法、希釈率、検量線の作成方法、測定方法を決定。
   【測定方法】
   ・ICP発光分光分析法
   ・ICP質量分析法
   ・原子吸光分析法
2. 単位面積当たりの各成分の絶対量（μg／cm²）を定量し、組成比（wt％又はatomic％）や膜厚（Å）に換算

一般的手法

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  ２０００Å膜厚の薄膜（総付着量2～3mg／16cm²）